光学薄膜测量仪

• 详细介绍
• 详细参数

• 详细介绍

  薄膜广泛用于各种应用，包括

  ? 光学元件上的介电涂层

  ? 镀膜滤光片

  ? 晶圆上的半导体制造

  ? 液晶装置

  ? 手机面板上的涂料

  
  

  该仪器基于多反射光束的干涉光谱分析， 可对各种薄膜和涂层的厚度，折射率和

  吸收指数进行非接触式光学测量。

  拥有nm测量精度高，操作方便，比传统

  的椭圆偏振仪容易操作，是薄膜研究，

  涂层行业和半导体制造行业必不可少的设备。

  测量功能

  ? 基材折射率和吸收指数的测量

  ? 膜厚测量，平均值和标准偏差

  ? 膜材料的折射率和吸收率评估

  ? 保存测量的光谱相关反射率数据

  ? 加载先前保存的反射率数据

  ? 测量结果统计

  
  

  ? 用户友好计算折射率和吸收指数的测 量操作界面

  ? 灵活选择计算波长范围（在基于PC的 光谱仪中）

  ? 灵活选择厚度范围以最大程度地减少

  计算时间

  ? 从包含的各种膜和基材的数据库中方 便地选择膜和基材

  ? 方便添加新材料数据表

  
  

• 详细参数

• 产品特色

  因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。

• 详细介绍

  AutoCal系统提供在线的机器人校准方案，旨在快速和自动地保证机械设备的工作性能。因用于机器人各方面应用且与大多数机器人类型兼容，AutoCal系统可以检测出机器人自身构造和工具中心点（TCP）的 突然改变或偏离，并且该系统无需人为干涉就自动地更正这些误差。这意味着不用猜测哪里会出错，不用浪费宝贵时间在机器人程序重复校准上，产品品质无任何损失。

  AutoCal系统-Dynalog的先进水平校准技术，Dynalog是机器人单元标定技术的世界领导者。它的主流产品DynaCal 系统，被应用于离线的机器人单元校准，并作为最精确的和技术先进的机器人校准程序为许多机器人制造商和终端使用者所接受。AutoCal 系统将已证实的DynaCal校准技术结合到一个在线的全自动系统中，该系统专为程序控制和复原而设计的，价格低廉。